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多維測(cè)量精密微調(diào)平臺(tái)。先建立了精密微調(diào)平臺(tái)的數(shù)學(xué)分析模型,在此基礎(chǔ)上,通過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)得到了平臺(tái)的優(yōu)尺寸。利用有限元軟件驗(yàn)證了理論建模和優(yōu)化結(jié)果的正確性。制造了原型樣機(jī),進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究,對(duì)平臺(tái)進(jìn)行了標(biāo)定,并分析了精密微調(diào)平臺(tái)的定位誤差。
精密微調(diào)平臺(tái)操作系統(tǒng)在生物工程、集成電路制造、微細(xì)加工、顯微手術(shù)和光纖對(duì)接等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景 ,精密微調(diào)平臺(tái)已成為前沿科學(xué)、工程技術(shù)領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)之一?,F(xiàn)有的精密微調(diào)平臺(tái)技術(shù)中,常選用滑動(dòng)導(dǎo)軌或滾動(dòng)導(dǎo)軌構(gòu)成的微位移定位機(jī)構(gòu),由于存在著較大的間隙和機(jī)械摩擦,精密微調(diào)平臺(tái)定位精度很難達(dá)到很高要求?;诰芪⒄{(diào)平臺(tái)的微位移機(jī)構(gòu)有免裝配、無(wú)機(jī)械摩擦、無(wú)間隙、運(yùn)動(dòng)靈敏度高和加工簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn),近年來(lái)精密微調(diào)平臺(tái)得到了廣泛的應(yīng)用。
在一些精密微調(diào)平臺(tái)中,經(jīng)常需要將物體偏轉(zhuǎn)一個(gè)角度,以達(dá)到各種需求,如在大規(guī)模集成電路的制造中對(duì)晶片的定位不僅需要在X和Y兩個(gè)方向調(diào)整,還需要調(diào)整繞Z軸的轉(zhuǎn)角誤差,甚至更多維的使用。
此多維精密微調(diào)平臺(tái)是先對(duì)精密微調(diào)平臺(tái)進(jìn)行數(shù)學(xué)建模,得出其剛度、固有頻率和強(qiáng)度的計(jì)算表達(dá)式。在此基礎(chǔ)上,通過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)得到了精密微調(diào)平臺(tái)的優(yōu)尺寸。利用有限元軟件驗(yàn)證了理論建模和優(yōu)化結(jié)果的正確性。制造了原型樣機(jī),進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究,對(duì)精密微調(diào)平臺(tái)進(jìn)行了標(biāo)定,并分析了精密微調(diào)平臺(tái)的定位誤差。
按照客戶需求定制:
單軸(x y z軸的直線平臺(tái)、旋轉(zhuǎn)平臺(tái)、弧線移動(dòng)平臺(tái))的平臺(tái)可組合成二維、三維、四維、五維、六維的多維平臺(tái),滿足不同方向和不同角度的調(diào)整特色:精度高、重復(fù)性好、性能可靠穩(wěn)定、配套功能齊全。
產(chǎn)品可按圖設(shè)計(jì),
負(fù)重8kg,15kg,30kg,40kg.........
YYKJ-DW--8kg
YYKJ-DW--15kg
YYKJ-DW--30kg
YYKJ-DW--40kg
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